.
三月份的第二天,申城下了一场淅淅沥沥的小雨。
春节的气息犹在,元宵还没到来,气温一到晚上也不过就是四五度,又有冷风细雨扑在脸上,难免让人感到寒意。
但张汝京丝毫没有这样的感觉,他匆匆的从一间会议室走进另一间会议室,心里转着的都是当前的状况,既有行业大环境所面临的问题,也有眼前碰见的现实问题。
砰!
门被一把推开,冰凉的空气卷进办公室让众人不自觉的都皱了皱眉。
张汝京大步走进来,嗓子有些嘶哑的问道:“怎么样了?现在商讨的怎么样?”
没人回答,只有重新弥漫起来的二手烟。
张汝京到了办公桌边也不坐,直接一手按桌,倾着身子的再次说道:“又不是让你们去干euv光刻胶,也不是立即把arf搞好,一边搞,一边建,这就这么为难?”
他这次来申城主要就是为了arf光刻胶研发的事情,如同他自己之前在琴岛搞的大硅片一样,高端光刻胶也是国内比较欠缺的一环。
虽说如今还没波及到这个,但冰芯上了名单,后续极可能会被追加更严厉的措施。
芯材公司是由大基金、冰芯、南大光电、芯刻微材料等公司联合成立的技术研究公司,主要目标就是取得arf光刻胶的突破。
只是,但凡需要突破的东西都有难度,arf光刻胶在evu方案还没落地商用的情况下就是最高端的精密化学材料,国内这方面的厂商目前都没什么苗头。
芯材是2012年成立,彼时也费了不少功夫,这个环节的公司们本身存在竞争关系,联合研发存在着利益分配的问题。
张汝京这一趟来之前问了问相关情况,从负责晶圆制造联盟工作的秘书长那边得知,当时是冰芯态度有一点点强硬的推动了这个合作。
冰芯在内地半导体行业里有着相当大的主导权,这既是它本身的技术水平,也是晶圆制造联盟在金融危机后做了不少整合的帮忙。
不管南大光电还是芯刻微材料,它们在内地都绕不开冰芯。
再加上,方总2011年7月份进行了事实上的部分的“同气连枝”整合,冰芯加上中芯更是内地半导体公司绕不开的存在了。
基于这种情况才有了“芯材”的诞生。
从2012年到2015年的现在,芯材专注于arf光刻胶的研究,进度上嘛,还算可以,多次进行了小规模试验,调整的配方比例也在光化学反应性能上有明显的提升。
只是,这种提升还达不到理想的状态,等到走出实验室,扩大到中试规模,工艺流程的工业化适应性评估就出现了问题。
这便没法大脚步的再往下走,况且,后面也有不少关隘,要搞长时间存储稳定性和批次间一致性测试,要做晶圆厂兼容性验证,必须得确保光刻胶和冰芯的生产工艺无缝对接,还得做大量重复性与可靠性测试。
如此这些,最后还要建立稳定的生产工艺,保证大规模生产的每一批次的光刻胶性能一致。
“芯材走在了正确的路上。”
这是来自晶圆制造联盟的评价。