第440章 光刻机项目:另辟蹊径
沐阳研究更新后的阅读系统两个多小时才研究透,兴奋得睡不着。
喝了一杯茶,他想看看芯片制造技术的核心设备:光刻机。
目前市场上,有两种主流光刻机,一个是duv光刻机,另一个是euv光刻机。
duv是深紫外线(deep ultraviolet lithography),euv是极深紫外线(extreme ultraviolet lithography)。
从制程范围来看,duv基本上只能做到25nm,intel凭借双工作台的模式做到了10nm,但是却无法达到10nm以下。
只有euv能满足10nm以下的晶圆制造,并且还可以向5nm、3nm继续延伸。
这个线宽其实就是跟光的线宽有关系,比如可见光的g线,那就是436nm,如果用来刻蚀,线路肯定很宽。
可以简单地认为,光刻机的光系统其实就是一支画笔,不同的光代表不同粗细大小的笔芯,越细的笔(光)能够画越细越复杂的画。
duv就是彩笔,euv就是中性笔,中性笔画的线条比较细,比较好用。
这么理解,也好理解光刻机到底如何刻蚀电路图了。
当前,国外品牌光刻机主要以荷蓝asml,岛国nikon和canon三大品牌为主。
euv的价格是1-3亿美金/台,duv的价格为2000万-5000万美金/台不等。
目前先进的光刻系统就是euv光刻机,如果沐阳打算走euv光刻机路线,必然绕不开别人的技术专利保护范围。
因此,他只能寻找另外光种的光刻机,同时要考虑到光的分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等指标。
就说分辨率,如果制作出来的电路图模糊不清,那芯片肯定不好。
光刻机其它的指标,也可以比喻成画笔的性能就行了。
并不是说,沐阳不能搞光刻机了,只是说,再搞duv和euv光刻机,绕不开以上三家企业的技术专利保护范围。
所以,他只能另辟蹊径。
很久之前,沐阳就想到过电子束光刻机。
原本,再过几年,漂亮国的一个实验室研发出一套名为zyvexlitho1的光刻系统,基于stm扫描隧道显微镜,使用的是ebl (e-beam lithography)电子束光刻方式,制造出了0.7nm线宽的芯片,只是没法实现批量生产,或者成本高过。
沐阳相信,如果是技术成熟的电子束光刻机,线宽比0.7nm更小。
他在系统商店普通货架上默念搜索“电子束光刻机”,很快,搜索出几款相关技术。
沐阳选择适合自己公司的一款技术:ebl01
技术参数:
1.最小线宽:小于1nm
2.加速电压:5-500kv
3.电子束直径:小于0.5nm
4.套刻精度:1nm(mean+0.2σ)
5.拼接精度:1nm(mean+0.2σ)
6.加工晶圆尺寸:4-18英寸
7.描电镜分辨率:小于0.2nm
主要特点:
1.采用超高亮度和超高稳定性的tfe电子枪;
2.出色的电子束偏转控制技术;
3.采用场尺寸调制技术,电子束定位分辨率可达0.0002nm;
4.采用轴对称图形书写技术,图形偏角分辨率可达0.002mrad;
5.应用领域广泛,如微纳器件加工,研究用掩膜制造,纳米加工(例如单电子器件、量子器件制作等),高频电子器件中的混合光刻,图形线宽和图形位移测量等。
……
需要成就点:300点!
……
沐阳大概看了下简介,光从技术参数上就看出它的先进性。
还有更加先进的光刻机,但是,以星海集团目前的条件,买了也造不出来,而且需要的成就点非常多。
这个ebl01号称可以制造1nm以下的芯片,但量产成本会比较高。
因此,当前的情况,星海集团可以从7nm芯片工艺开始,可以保证在2018年之前保持在世界第一地位。
等竞争对手可以批量搞7nm芯片了,星海集团再推出5nm或3nm芯片。
有些设备应用,也用不着这么高端的芯片,28nm芯片工艺足够,也是未来十年内的主流。
只是说,沐阳不打算玩什么中低端芯片。
另外,沐阳打算弄一些小于1nm的芯片,用于制造量子计算机和超算,这类芯片他打算自用。
接下来,沐阳确认购买ebl01技术。
十几分钟后,沐阳把ebl01技术吸收完毕。
他感觉自己对光刻机有了更深入的了解,如今就是实实在在的芯片制造顶尖专家。
买了光刻机的技术,沐阳还得购买芯片设计技术、芯片设计相关软件和相关设备。
这个芯片设计软件,他就不打算自己研发了,他在芯片软件设计这一块是弱点,靠自己研究不知道得花多长时间。
而且,目前公司形势严峻,一旦漂亮国知道自己公司在搞芯片了,会对星海集团搞各种限制。
沐阳现在赶时间,同时还有更多更重要的事情需要他亲自处理。
于是,他又花了400点成就点。
这一晚,沐阳就花了700点成就点,还是有些心疼。
等吸收完新技术后,沐阳实在有些发困了,回床休息。
翌日,沐阳是被宋雪露吧嗒一下脸蛋睡醒的。
“孩子他爸,生日快乐。”
“谢谢,有你真好。”
沐阳睁开朦胧的双眼,揽过妻子的纤腰。
他老婆跟他同年出生,只比他小几个月。
系统8级时,商店有驻颜、延迟衰老类的医药技术,沐阳希望在二十年内研发出来,能够用在老婆身上。
“我看你挺疲惫的,昨晚几点睡的?”
“好像凌晨三点多了吧。”